真空鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的真空設備，其結構形式復雜且精密，通常由多個關鍵部分組成。以下是對真空鍍膜機結構形式的詳細解析：

一、真空主體——真空腔

功能：真空腔是真空鍍膜機的核心部分，用于提供一個高真空度的環(huán)境，確保膜體材料在蒸發(fā)或濺射過程中不會受到空氣分子的干擾。

結構：真空腔的大小根據(jù)加工產品的要求而異，常用尺寸包括直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。腔體由不銹鋼材料制成，要求不生銹、堅實耐用。真空腔各部分設有連接閥，用于連接各抽氣泵浦。

二、輔助抽氣系統(tǒng)

功能：輔助抽氣系統(tǒng)用于將真空腔內的氣體抽出，以創(chuàng)建和維持高真空環(huán)境。

組成：主要包括機械泵、增壓泵（羅茨泵）、油擴散泵等部分。

機械泵：作為前級泵，用于將真空腔抽至低真空狀態(tài)（小于2.0×10^-2Pa）。機械泵利用機械方法改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。常用的機械泵有滑閥式、活塞往復式、定片式和旋片式等。

增壓泵（羅茨泵）：在100~1帕壓強范圍內有較大的抽氣速度，彌補了機械泵在此范圍內排氣能力不足的缺點。羅茨泵不能從大氣開始工作，也不能直接排出大氣，其作用僅是增加進氣口和排氣口之間的壓差。

油擴散泵：用于獲得高真空（10-7帕）。油擴散泵利用氣體的擴散現(xiàn)象來排氣，具有結構簡單、操作方便、抽速大等特點。在工作時，油擴散泵的油被電爐加熱產生油蒸汽，油蒸汽在泵內形成高速射流，將氣體分子帶往出口處并由機械泵抽走。

三、電氣控制與安全保護系統(tǒng)

功能：電氣控制與安全保護系統(tǒng)用于控制真空鍍膜機的運行，并確保其安全運行。

組成：包括電源、控制電路、安全保護裝置等部分。電源為真空鍍膜機提供所需的電能；控制電路用于控制各部分的運行和協(xié)調；安全保護裝置則用于監(jiān)測和保護設備的運行狀態(tài)，防止發(fā)生意外事故。

四、其他關鍵部件

蒸發(fā)源：用于加熱蒸發(fā)膜體材料，使其轉化為氣態(tài)分子。蒸發(fā)源通常采用電阻加熱方式，加熱元件由高熔點的金屬鉬片制成舟狀，蒸發(fā)材料置于舟內。

濺射靶材：在濺射鍍膜過程中，濺射靶材作為被高能粒子轟擊的對象，其原子或分子被濺射出來并沉積在基材表面。濺射靶材的材質和形狀根據(jù)鍍膜要求而定。

復合真空計：用于測量真空腔內的真空度。復合真空計通常由兩個熱偶真空計和一個電離真空計組成，分別用于測量不同范圍的真空度。

綜上所述，真空鍍膜機的結構形式復雜且精密，各部分相互協(xié)作以實現(xiàn)高真空環(huán)境下的鍍膜過程。在設計和使用過程中，需要充分考慮各部分的功能、性能和安全性要求，以確保真空鍍膜機的正常運行和鍍膜質量。