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薄膜生產(chǎn)技術(shù)在電子產(chǎn)品中的應(yīng)用主要包括集成電路和半導(dǎo)體涂層、各種顯示元件的涂層、電子管和傳感器。之前已經(jīng)介紹了半導(dǎo)體和各種顯示元件的鍍膜,本文主要介紹了真空鍍膜設(shè)備在電子管和傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用。
首先是電子管
攝像管,用于電視、照相機。
1、光導(dǎo)性好,涂覆靶材為 CdS3、Se-As-Te、ZnSe、PbO,采用蒸發(fā)涂覆 I 藝術(shù)薄膜。
2、透明導(dǎo)電膜,涂布靶為 SnO、In2O3,采用蒸發(fā)或濺射涂布 I 藝術(shù)膜。
3、電極,涂覆靶材為 Cr、Cu(Au),采用蒸發(fā)涂覆 I 藝術(shù)膜。
2. 傳感器
1、約瑟夫遜裝置,用于超級計算機。
(1) Josephson 接頭,涂層靶材為 PbO+In2O、Pb、Nb、NbN、V3Si,采用蒸發(fā)或濺射涂層工藝形成薄膜。
(2) 保溫膜,涂布靶材為 SiO2、SiO,采用蒸發(fā)或濺射涂布工藝。
(3) 電極,涂覆靶材為 Au+Pb+In,Pb+Au+Pb,采用蒸發(fā)涂覆工藝形成薄膜。
2、磁泡,應(yīng)用于計算機存儲器。
(1) 傳感器 (氣泡),涂層靶材 Fe-Ni,采用蒸發(fā)或濺射涂層工藝。
(2) 保溫膜,涂覆靶材為 Al-Cu,采用 CAI 法涂覆工藝形成膜。
(3) 電極,涂層靶材為 SiOz,通過濺射涂層 I 形成薄膜。
3、磁盤,適用于計算機內(nèi)存。
傳感器的涂層靶材為 Fe、CO、Fe2O3、Fe3O4,通過蒸發(fā)或濺射涂層工藝形成。
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