歡迎訪問佛山市佛欣真空技術(shù)有限公司官方網(wǎng)站!
誠信,創(chuàng)新,團結(jié),務(wù)實,奉獻
層層把控,精益求精,持續(xù)創(chuàng)新,智造精品
真空鍍膜機是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的真空設(shè)備,其結(jié)構(gòu)形式復(fù)雜且精密,通常由多個關(guān)鍵部分組成。以下是對真空鍍膜機結(jié)構(gòu)形式的詳細解析:
一、真空主體——真空腔
功能:真空腔是真空鍍膜機的核心部分,用于提供一個高真空度的環(huán)境,確保膜體材料在蒸發(fā)或濺射過程中不會受到空氣分子的干擾。
結(jié)構(gòu):真空腔的大小根據(jù)加工產(chǎn)品的要求而異,常用尺寸包括直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。腔體由不銹鋼材料制成,要求不生銹、堅實耐用。真空腔各部分設(shè)有連接閥,用于連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統(tǒng)
功能:輔助抽氣系統(tǒng)用于將真空腔內(nèi)的氣體抽出,以創(chuàng)建和維持高真空環(huán)境。
組成:主要包括機械泵、增壓泵(羅茨泵)、油擴散泵等部分。
機械泵:作為前級泵,用于將真空腔抽至低真空狀態(tài)(小于2.0×10^-2Pa)。機械泵利用機械方法改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。常用的機械泵有滑閥式、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式等。
增壓泵(羅茨泵):在100~1帕壓強范圍內(nèi)有較大的抽氣速度,彌補了機械泵在此范圍內(nèi)排氣能力不足的缺點。羅茨泵不能從大氣開始工作,也不能直接排出大氣,其作用僅是增加進氣口和排氣口之間的壓差。
油擴散泵:用于獲得高真空(10-7帕)。油擴散泵利用氣體的擴散現(xiàn)象來排氣,具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、抽速大等特點。在工作時,油擴散泵的油被電爐加熱產(chǎn)生油蒸汽,油蒸汽在泵內(nèi)形成高速射流,將氣體分子帶往出口處并由機械泵抽走。
三、電氣控制與安全保護系統(tǒng)
功能:電氣控制與安全保護系統(tǒng)用于控制真空鍍膜機的運行,并確保其安全運行。
組成:包括電源、控制電路、安全保護裝置等部分。電源為真空鍍膜機提供所需的電能;控制電路用于控制各部分的運行和協(xié)調(diào);安全保護裝置則用于監(jiān)測和保護設(shè)備的運行狀態(tài),防止發(fā)生意外事故。
四、其他關(guān)鍵部件
蒸發(fā)源:用于加熱蒸發(fā)膜體材料,使其轉(zhuǎn)化為氣態(tài)分子。蒸發(fā)源通常采用電阻加熱方式,加熱元件由高熔點的金屬鉬片制成舟狀,蒸發(fā)材料置于舟內(nèi)。
濺射靶材:在濺射鍍膜過程中,濺射靶材作為被高能粒子轟擊的對象,其原子或分子被濺射出來并沉積在基材表面。濺射靶材的材質(zhì)和形狀根據(jù)鍍膜要求而定。
復(fù)合真空計:用于測量真空腔內(nèi)的真空度。復(fù)合真空計通常由兩個熱偶真空計和一個電離真空計組成,分別用于測量不同范圍的真空度。
綜上所述,真空鍍膜機的結(jié)構(gòu)形式復(fù)雜且精密,各部分相互協(xié)作以實現(xiàn)高真空環(huán)境下的鍍膜過程。在設(shè)計和使用過程中,需要充分考慮各部分的功能、性能和安全性要求,以確保真空鍍膜機的正常運行和鍍膜質(zhì)量。
咨詢熱線
13929969711
武先生:13929969711
郵箱: info@foxinzk.com
官網(wǎng):http://beststudy.com.cn/
地址:佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)羅村聯(lián)和工業(yè)區(qū)聯(lián)桂中路7號之2