在真空鍍膜設(shè)備自動(dòng)控制系統(tǒng)中，控制系統(tǒng)的性能指標(biāo)是其精度、可靠性和實(shí)現(xiàn)速度。對(duì)于真空壓力的自動(dòng)控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng)，有許多指標(biāo)的要求。                                           

1、自動(dòng)控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性

當(dāng)自動(dòng)控制系統(tǒng)的給定值發(fā)生變化或受到干擾時(shí)，控制量會(huì)發(fā)生變化并偏離初始值。由于受反饋環(huán)節(jié)的影響，裝置可利用設(shè)備內(nèi)部控制系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，調(diào)整到回到原來的穩(wěn)定值，或在給定值下緩慢穩(wěn)定。然而，由于系統(tǒng)內(nèi)部的相互影響，系統(tǒng)的狀態(tài)也可能是不穩(wěn)定的。因此，對(duì)于所有的自動(dòng)控制系統(tǒng)，我們的首要要求是滿足系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

2、自動(dòng)控制系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性

真空鍍膜機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)是一系列系統(tǒng)暫態(tài)性能參數(shù)。一般來說，需要在系統(tǒng)中設(shè)定一個(gè)步進(jìn)單元在某一時(shí)刻的給定值，然后根據(jù)系統(tǒng)過渡過程曲線上相應(yīng)的參數(shù)來表示控制系統(tǒng)的“動(dòng)態(tài)特性”，從而使這種控制系統(tǒng)在不同條件下的動(dòng)態(tài)特性具有可比性。

（1） 振蕩頻率：控制量在給定時(shí)間內(nèi)的振蕩次數(shù)。振蕩頻率越小，控制系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)性能越好。

（2） 作為速度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的指標(biāo)。調(diào)整時(shí)間，又稱恢復(fù)時(shí)間，是指控制系統(tǒng)接收到步進(jìn)單位給定值的信號(hào)時(shí)，設(shè)備從過渡狀態(tài)到允許偏差恢復(fù)所需的短時(shí)間。

（3） 以系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)偏差作為控制指標(biāo)。在步進(jìn)單元給定值的影響下，器件過渡到穩(wěn)態(tài)時(shí)的殘余差。

（4） 偏差大：控制量與給定值的偏差差。過渡過程曲線的峰值與給定值的差值。

（5） 衰減比：用于測(cè)量控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性指標(biāo)。指同一方向上相鄰兩個(gè)波的振幅比，一般在4:1到10:1之間。