真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的真空設(shè)備，其結(jié)構(gòu)形式復(fù)雜且精密，通常由多個(gè)關(guān)鍵部分組成。以下是對(duì)真空鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)形式的詳細(xì)解析：

一、真空主體——真空腔

功能：真空腔是真空鍍膜機(jī)的核心部分，用于提供一個(gè)高真空度的環(huán)境，確保膜體材料在蒸發(fā)或?yàn)R射過(guò)程中不會(huì)受到空氣分子的干擾。

結(jié)構(gòu)：真空腔的大小根據(jù)加工產(chǎn)品的要求而異，常用尺寸包括直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。腔體由不銹鋼材料制成，要求不生銹、堅(jiān)實(shí)耐用。真空腔各部分設(shè)有連接閥，用于連接各抽氣泵浦。

二、輔助抽氣系統(tǒng)

功能：輔助抽氣系統(tǒng)用于將真空腔內(nèi)的氣體抽出，以創(chuàng)建和維持高真空環(huán)境。

組成：主要包括機(jī)械泵、增壓泵（羅茨泵）、油擴(kuò)散泵等部分。

機(jī)械泵：作為前級(jí)泵，用于將真空腔抽至低真空狀態(tài)（小于2.0×10^-2Pa）。機(jī)械泵利用機(jī)械方法改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。常用的機(jī)械泵有滑閥式、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式等。

增壓泵（羅茨泵）：在100~1帕壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽氣速度，彌補(bǔ)了機(jī)械泵在此范圍內(nèi)排氣能力不足的缺點(diǎn)。羅茨泵不能從大氣開(kāi)始工作，也不能直接排出大氣，其作用僅是增加進(jìn)氣口和排氣口之間的壓差。

油擴(kuò)散泵：用于獲得高真空（10-7帕）。油擴(kuò)散泵利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象來(lái)排氣，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、抽速大等特點(diǎn)。在工作時(shí)，油擴(kuò)散泵的油被電爐加熱產(chǎn)生油蒸汽，油蒸汽在泵內(nèi)形成高速射流，將氣體分子帶往出口處并由機(jī)械泵抽走。

三、電氣控制與安全保護(hù)系統(tǒng)

功能：電氣控制與安全保護(hù)系統(tǒng)用于控制真空鍍膜機(jī)的運(yùn)行，并確保其安全運(yùn)行。

組成：包括電源、控制電路、安全保護(hù)裝置等部分。電源為真空鍍膜機(jī)提供所需的電能；控制電路用于控制各部分的運(yùn)行和協(xié)調(diào)；安全保護(hù)裝置則用于監(jiān)測(cè)和保護(hù)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，防止發(fā)生意外事故。

四、其他關(guān)鍵部件

蒸發(fā)源：用于加熱蒸發(fā)膜體材料，使其轉(zhuǎn)化為氣態(tài)分子。蒸發(fā)源通常采用電阻加熱方式，加熱元件由高熔點(diǎn)的金屬鉬片制成舟狀，蒸發(fā)材料置于舟內(nèi)。

濺射靶材：在濺射鍍膜過(guò)程中，濺射靶材作為被高能粒子轟擊的對(duì)象，其原子或分子被濺射出來(lái)并沉積在基材表面。濺射靶材的材質(zhì)和形狀根據(jù)鍍膜要求而定。

復(fù)合真空計(jì)：用于測(cè)量真空腔內(nèi)的真空度。復(fù)合真空計(jì)通常由兩個(gè)熱偶真空計(jì)和一個(gè)電離真空計(jì)組成，分別用于測(cè)量不同范圍的真空度。

綜上所述，真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)形式復(fù)雜且精密，各部分相互協(xié)作以實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的鍍膜過(guò)程。在設(shè)計(jì)和使用過(guò)程中，需要充分考慮各部分的功能、性能和安全性要求，以確保真空鍍膜機(jī)的正常運(yùn)行和鍍膜質(zhì)量。