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真空鍍膜機油擴散泵的應(yīng)用壓力范圍為10-1Pa-10-7Pa,利用氣體的擴散現(xiàn)象排出。它具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、泵速大(可達(dá)10+5L/s)的特點。主要由多級油泵、擴散器泵和噴嘴(d-4#)按日本型號組成。
擴散泵油儲存在擴散泵的底部,上部為進氣口,右側(cè)下部為排氣口。在運行過程中,機械泵為出風(fēng)口提供預(yù)壓,作為預(yù)泵。
當(dāng)擴散泵的油被電爐加熱時,產(chǎn)生的油蒸汽提供預(yù)壓,機械泵作為預(yù)泵。當(dāng)擴散泵油被電爐加熱時,產(chǎn)生的油蒸汽通過傘嘴沿導(dǎo)管向下噴射。由于噴嘴外的機械泵提供1-10-1 PA的真空,油蒸汽可以噴射一定距離,形成向排氣口移動的射流。射流*終接觸冷卻水冷卻的泵壁,冷凝成液體流回蒸發(fā)器,即通過油蒸發(fā)射流冷凝和反復(fù)循環(huán)實現(xiàn)抽氣。
一旦從進氣口進入泵的氣體分子落入蒸汽流中,它們將獲得向下運動的動量并向下飛行。由于射流具有高流速(約200m/s)、高蒸汽密度和高分子量(300-500)的擴散泵油,可有效帶走氣體分子。因此,氣體分子不能長時間停留在射流界面上,在射流界面兩側(cè),萃取氣體的濃度差異很大。正是由于這種濃度差異,提取的氣體可以連續(xù)穿過界面,擴散到射流中,被帶到出口,然后被出口處的機械泵抽走。
擴散泵的油蒸汽壓是決定泵極限真空的重要因素。因此,應(yīng)盡量選用飽和蒸汽壓較低的泵油,其化學(xué)特性應(yīng)較好。
擴散泵不能單獨用于抽氣。通常,泵的出口壓力要求為40 PA。擴散泵的泵送速度取決于第 一級噴嘴和泵體進口直徑之間的環(huán)形區(qū)域。泵送速度不是一個恒定值,而是隨入口壓力而變化。當(dāng)壓力為10-2~10-3pa時,擴散泵的抽速*快。當(dāng)壓力小于5*10-4Pa時,擴散泵的泵送速度*小,幾乎沒有泵送能力(此時進氣口壓力較高)。由于空氣密度高,蒸汽流無法形成高速射流以阻止空氣的反擴散,因此泵速降低)。
擴散泵安裝前應(yīng)清洗干凈,方可裝入擴散油。在加熱機油之前,必須對泵抽真空。停機前,擴散泵油必須冷卻至60~70℃,關(guān)閉前級抽氣,*后關(guān)閉冷卻水。
由于油擴散泵無法消除回油的可能性,因此無法確保精密產(chǎn)品的100%純度,尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)。因此,有“高真空凝結(jié)水泵+低真空機械泵”組成的無油真空系統(tǒng)。冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率高,而且能有效地保證真空室的清潔度,保證產(chǎn)品質(zhì)量(避免產(chǎn)品污染,增強薄膜與基材的附著力),但其維護成本非常高且昂貴,因此,滲透率沒有擴散泵的滲透率寬。
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